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生產設備

SPI—SINIC-TEK

精度：XY方向<10um；高度=0.37um

重復精度：高度<1um(4sigma)；面積/體積<<1%(4sigma)

檢測面積：480x490mm

檢測速度：0.35秒/FOV

PCB尺寸：515x505mm

最小檢測元件：01005（英制）

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